1. Сусымалы газ жүйесінің анықтамасы:
Инертті газдарды сақтау және қысымды бақылау Газ түрлері: типтік инертті газдар (азот, аргон, сығылған ауа және т.б.)
Құбырдың өлшемі: 1/4 (бақылау құбыры) бастап 12 дюймдік магистральдық құбырға дейін
Жүйенің негізгі өнімдері: диафрагмалық клапан/сильфонды клапан/шарлы клапан, тазалығы жоғары қосқыш (бейнемагнитофон, дәнекерлеу формасы), ферруль қосқышы, қысымды реттейтін клапан, манометр және т.б.
Қазіргі уақытта жаңа жүйеге қойма және тасымалдау үшін тұрақты газ баллондарын немесе автоцистерналарды пайдаланатын көлемді арнайы газ жүйесі де енгізілген.
2. Тазалау жүйесінің анықтамасы:
Жоғары таза газ құбырлары үшін сусымалы газдардан қоспаларды жою
3. Газ шкафтарының анықтамасы:
Арнайы газ көздеріне (улы, жанғыш, реактивті, коррозиялық газдар) қысымды бақылауды және ағынды бақылауды қамтамасыз ету және газ баллондарын ауыстыру мүмкіндігі бар.
Орналасқан жері: Арнайы газдарды сақтауға арналған субфаб қабатында немесе төменгі қабатта орналасқан. Көз: NF3, SF6, WF6 және т.б.
Құбырдың өлшемі: Ішкі газ құбыры, әдетте технологиялық құбыр үшін 1/4 дюйм, негізінен жоғары таза азотты тазарту құбыры үшін 1/4-3/8 дюйм.
Негізгі өнімдер: Жоғары тазалықтағы диафрагмалық клапандар, бақылау клапандары, манометрлер, манометрлер, жоғары тазалықтағы қосқыштар (бейнемагнитофон, дәнекерлеу пішіні) Бұл газ шкафтары негізінен газды үздіксіз беруді және баллондарды қауіпсіз ауыстыруды қамтамасыз ету үшін цилиндрлерді автоматты ауыстыру мүмкіндіктерін қамтиды.
4. Тарату анықтамасы:
Газ көзін газ жинағыш катушкаға қосу
Сызықтың өлшемі: чип зауытында, сусымалы газ тарату құбырының өлшемі әдетте 1/2 дюймден 2 дюймге дейін ауытқиды.
Қосылу формасы: Арнайы газ құбырлары әдетте дәнекерлеу арқылы, ешқандай механикалық қосылымсыз немесе басқа қозғалатын бөлшектерсіз қосылады, себебі дәнекерлеу қосылымының тығыздалу сенімділігі жоғары.
Чип шығаратын зауытта газды тасымалдауға қосылған жүздеген километр құбырлар бар, олардың ұзындығы шамамен 20 фут және бір-бірімен дәнекерленген. Кейбір түтіктердің иілісі және құбырлы дәнекерлеу қосылыстары да өте кең таралған.
5. Көп функциялы клапан қорабы (Valve Manifold Box, VMB) Анықтама:
Бұл газ көзінен арнайы газдарды жабдықтың әртүрлі ұштарына тарату.
Ішкі құбырдың өлшемі: 1/4 дюймдік технологиялық құбыр және 1/4 - 3/8 дюймдік тазарту құбыры. Жүйе іске қосылатын клапандарды немесе қолмен клапандармен төмен шығындарды талап ету үшін компьютерлік басқаруды пайдалана алады.
Жүйе өнімдері: жоғары тазалықтағы диафрагмалық клапандар/сильфонды клапандар, тексеру клапандары, жоғары тазалықтағы қосылыстар (бейнемагнитофон, микро дәнекерлеу формасы), қысымды реттейтін клапандар, манометрлер және манометрлер және т.б. Кейбір инертті газдарды тарату үшін Клапан коллекторының панелі - Негізінен VMP (көп функциялы клапан дискі) пайдаланылады, оның беті ашық газды дискі бар және жабық кеңістік дизайнын және қосымша азотты қажет етпейді. тазарту.
6. Қосымша клапан тақтасы/қорап (Құралды қосу тақтасы) Анықтама:
Жартылай өткізгішті жабдыққа қажетті газды газ көзінен жабдықтың соңына қосыңыз және сәйкес қысымды реттеуді қамтамасыз етіңіз. Бұл панель VMB (көп функциялы клапан қорабы) қарағанда жабдықтың соңына жақынырақ орналасқан газды басқару жүйесі болып табылады.
Газ құбырының өлшемі: 1/4 - 3/8 дюйм
Сұйықтық құбырының өлшемі: 1/2 - 1 дюйм
Шығару құбырының өлшемі: 1/2 - 1 дюйм
Негізгі өнімдер: диафрагмалық клапан/сильфонды клапан, бір жақты клапан, қысымды реттейтін клапан, манометр, манометр, жоғары тазалықтағы қосылыс (бейнемагнитофон, микро дәнекерлеу), ферруль қосылысы, шар клапан, шланг және т.б.
Жіберу уақыты: 22 қараша 2024 ж