1. Газ жүйесінің анықтамасы:
Инертті газдарды сақтау және қысымды бақылау Газ түрлері: Әдеттегі инертті газдар (азот, аргон, сығылған ауа және т.б.)
Құбыр өлшемі: 1/4-тен (бақылау құбыры) 12 дюймдік негізгі құбырға дейін
Жүйенің негізгі өнімдері: диафрагмалық клапан/сильфон клапаны/шар клапаны, жоғары тазалық қосқышы (бейнемагнитофон, дәнекерлеу пішіні), феррула қосқышы, қысымды реттейтін клапан, қысым өлшегіш және т.б.
Қазіргі уақытта жаңа жүйеге сақтау және тасымалдау үшін бекітілген газ баллондарын немесе цистерналарды пайдаланатын арнайы көлемді газ жүйесі де кіреді.
2. Тазарту жүйесінің анықтамасы:
Жоғары тазалықтағы газ құбырларына арналған газдардан қоспаларды кетіру
3. Газ шкафтарының анықтамасы:
Арнайы газ көздеріне (улы, тұтанғыш, реактивті, коррозиялық газдар) қысымды бақылауды және ағынды бақылауды қамтамасыз ету және газ баллондарын ауыстыру мүмкіндігіне ие болу.
Орналасқан жері: Арнайы газдарды сақтауға арналған кіші қабатта немесе төменгі қабатта орналасқан. Дереккөз: NF3, SF6, WF6 және т.б.
Құбырдың өлшемі: Ішкі газ құбыры, әдетте технологиялық құбыр үшін 1/4 дюйм, негізінен жоғары тазалықтағы азотты тазарту құбыры үшін 1/4-3/8 дюйм.
Негізгі өнімдер: Жоғары тазалықтағы диафрагма клапандары, кері клапандар, қысым өлшегіштері, қысым өлшегіштері, жоғары тазалықтағы қосқыштар (бейнемагнитофон, дәнекерлеу пішіні). Бұл газ шкафтары негізінен үздіксіз газбен жабдықтауды және баллондарды қауіпсіз ауыстыруды қамтамасыз ету үшін баллондарды автоматты түрде ауыстыру мүмкіндіктерімен жабдықталған.
4. Тарату анықтамасы:
Газ көзін газ жинау катушкасына қосу
Желі өлшемі: Чип зауытында газ тарату құбырының өлшемі әдетте 1/2 дюймнен 2 дюймге дейін болады.
Қосылу формасы: Арнайы газ құбырлары әдетте механикалық қосылыссыз немесе басқа қозғалатын бөлшектерсіз дәнекерлеу арқылы қосылады, негізінен дәнекерлеу қосылысының тығыздау сенімділігі жоғары болғандықтан.
Чип зауытында газ беру үшін жүздеген шақырымға созылатын құбырлар қосылған, олардың ұзындығы шамамен 20 фут және олар бір-біріне дәнекерленген. Кейбір құбырлардың иілуі және құбырлы дәнекерлеу қосылыстары да өте кең таралған.
5. Көп функциялы клапан қорабы (Valve Manifold Box, VMB) Анықтамасы:
Ол газ көзінен жабдықтың әртүрлі ұштарына арнайы газдарды таратуға арналған.
Ішкі құбыр өлшемі: 1/4 дюймдік өңдеу құбыры және 1/4 - 3/8 дюймдік тазарту құбыры. Жүйе іске қосылатын клапандарды немесе қолмен басқарылатын клапандарды пайдалану кезінде арзанырақ жағдайларды талап ету үшін компьютерлік басқаруды пайдалануы мүмкін.
Жүйелік өнімдер: жоғары тазалықтағы диафрагмалық клапандар/сильфон клапандары, кері клапандар, жоғары тазалықтағы қосылыстар (бейнемагнитофон, микродәнекерлеу формасы), қысымды реттейтін клапандар, қысым өлшегіштер және қысым өлшегіштер және т.б. Кейбір инертті газдарды тарату үшін негізінен ашық газ дискісінің беті бар және жабық кеңістікті жобалауды және қосымша азотты тазартуды қажет етпейтін клапан коллекторы панелі - VMP (көп функциялы клапан дискісі) қолданылады.
6. Екінші реттік клапан пластинасы/қорабы (құралдарды қосу панелі) Анықтамасы:
Жартылай өткізгіш жабдыққа қажетті газды газ көзінен жабдықтың ұшына қосыңыз және тиісті қысымды реттеуді қамтамасыз етіңіз. Бұл панель - VMB (көп функциялы клапан қорабы) құрылғының ұшына жақын орналасқан газды басқару жүйесі.
Газ құбырының өлшемі: 1/4 - 3/8 дюйм
Сұйықтық құбырының өлшемі: 1/2 - 1 дюйм
Ағызу құбырының өлшемі: 1/2 - 1 дюйм
Негізгі өнімдер: диафрагмалық клапан/сильфон клапаны, бір жақты клапан, қысымды реттейтін клапан, манометр, манометр, жоғары тазалықтағы қосылыс (бейнемагнитофон, микродәнекерлеу), феррул қосылысы, шар клапаны, шланг және т.б.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 22 қараша