As жартылай өткізгішжәне микроэлектронды технологиялар жоғары өнімділікке және жоғары интеграцияға қарай дамиды, электронды арнайы газдардың тазалығына жоғары талаптар қойылады. Жоғары таза газ құбырлары технологиясы жоғары таза газбен жабдықтау жүйесінің маңызды бөлігі болып табылады. Бұл сапалы сапаны сақтай отырып, газды пайдалану орындарына қойылатын талаптарға жауап беретін жоғары таза газдарды жеткізудің негізгі технологиясы.
Жоғары тазалықтағы құбырлар технологиясы жүйені дұрыс жобалауды, құбыр арматурасын және қосалқы материалдарды таңдауды, құрылысты және орнатуды және сынауды қамтиды.
01Газ тасымалдау құбырларының жалпы түсінігі
Барлық жоғары және жоғары таза газдарды терминалдық газ нүктесіне құбырлар арқылы тасымалдау қажет. Газдың экспорттық индексі белгілі болған кезде газдың технологиялық сапасына қойылатын талаптарды қанағаттандыру үшін құбыр жүйесінің материалды таңдауына және құрылыс сапасына көбірек назар аудару қажет. Газды өндіру немесе тазарту жабдығының дәлдігінен басқа, оған құбыр жүйесінің көптеген факторлары көп әсер етеді. Сондықтан құбырларды таңдау кезінде тазарту саласының тиісті принциптерін сақтау және сызбаларда құбырлардың материалын белгілеу қажет.
02 Газды тасымалдаудағы жоғары тазалықтағы құбырлардың маңызы
Жоғары таза газды тасымалдаудағы жоғары таза құбырлардың маңызы Тот баспайтын болатты балқыту процесі кезінде әрбір тонна шамамен 200 г газды сіңіре алады. Тот баспайтын болат өңделгеннен кейін оның бетіне әртүрлі ластаушы заттар жабысып қана қоймайды, сонымен қатар оның металл торында белгілі бір мөлшерде газ сіңеді. Құбыр арқылы өтетін ауа ағыны болған кезде металл сіңірген газ бөлігі ауа ағынына қайтадан еніп, таза газды ластайды.
Құбырдағы ауа ағыны үзіліссіз болған кезде құбыр арқылы өтетін газға қысым адсорбциясы пайда болады. Ауа ағыны өтуін тоқтатқанда, құбырмен адсорбцияланған газ қысымды төмендету талдауын құрайды және талданатын газ қоспа ретінде құбырдағы таза газға да түседі.
Бұл ретте адсорбция және талдау циклі құбырдың ішкі бетіндегі металдың белгілі бір мөлшерде ұнтақ шығаруына әкеледі. Бұл металл шаңы құбырдағы таза газды да ластайды. Құбырдың бұл сипаттамасы өте маңызды. Тасымалданатын газдың тазалығын қамтамасыз ету үшін құбырдың ішкі бетінің өте жоғары тегістігі ғана емес, сонымен қатар оның тозуға төзімділігі жоғары болуы керек.
Газдың күшті коррозиялық қасиеттері болған кезде, құбырлар үшін коррозияға төзімді баспайтын болаттан жасалған құбырларды пайдалану қажет. Әйтпесе, коррозияға байланысты құбырдың ішкі бетінде коррозиялық дақтар пайда болады. Ауыр жағдайларда металлдың үлкен бөліктері қабыршақтанып немесе тіпті тесіліп, тасымалданатын таза газды ластайды.
03 Құбыр материалы
Құбырдың материалын таңдау пайдалану қажеттіліктеріне сәйкес таңдалуы керек. Құбырдың сапасы әдетте құбырдың ішкі бетінің кедір-бұдырына сәйкес өлшенеді. Кедір-бұдыр неғұрлым төмен болса, соғұрлым оның бөлшектерді тасымалдау мүмкіндігі аз болады. Жалпы үш түрге бөлінеді:
БіреуіEP маркалы 316L құбыр, ол электролиттік жылтыратылған (Электро-поляк). Ол коррозияға төзімді және бетінің кедір-бұдыры төмен. Rmax (ең жоғары шыңнан аңғар биіктігі) шамамен 0,3 мкм немесе одан аз. Ол ең жоғары тегістікке ие және микро құйынды токтарды қалыптастыру оңай емес. Ластанған бөлшектерді алып тастаңыз. Процессте қолданылатын реакциялық газды осы деңгейде құбырмен өткізу керек.
Біреуі – аBA дәрежесі 316LBright Anneal арқылы өңделген және жиі чиппен байланыста болатын, бірақ процесс реакциясына қатыспайтын GN2 және CDA сияқты газдар үшін пайдаланылатын құбыр. Біреуі - арнайы өңделмеген және әдетте газбен жабдықтау желісі ретінде пайдаланылмайтын сыртқы құбырлардың қос жиынтықтары үшін пайдаланылатын AP құбыры (Annealing & Picking).
04 Құбыр құрылысы
Құбырдың аузын өңдеу осы құрылыс технологиясының негізгі сәттерінің бірі болып табылады. Құбырды кесу және дайындау таза ортада жүзеге асырылады, сонымен бірге кесу алдында құбырдың бетінде зиянды белгілердің немесе зақымдардың болмауы қамтамасыз етіледі. Құбырдағы азотты жууға дайындық құбырды ашар алдында жасалуы керек. Негізінде дәнекерлеу жоғары тазалықтағы және жоғары тазалықтағы газ тасымалдау және тарату құбырларын үлкен ағынмен қосу үшін қолданылады, бірақ тікелей дәнекерлеуге жол берілмейді. Корпустың қосылыстарын пайдалану керек, ал пайдаланылатын құбыр материалы дәнекерлеу кезінде құрылымында өзгеріс болмауы керек. Егер көміртегі мөлшері тым жоғары материал дәнекерленген болса, дәнекерлеу бөлігінің ауа өткізгіштігі құбыр ішіндегі және сыртындағы газдың бір-біріне еніп кетуіне әкеліп соғады, тасымалдаушы газдың тазалығын, құрғақтығын және тазалығын бұзады, бұл ауыр зардаптарға әкеледі. және өндіріс сапасына әсер етеді.
Қорытындылай келе, жоғары таза газ және арнайы газ тасымалдау құбырлары үшін жоғары тазалықтағы құбырлар жүйесін (құбырларды, құбыр арматурасын, клапандарды, VMB, VMP қоса) арнайы өңделген жоғары тазалықтағы баспайтын болаттан жасалған құбырды пайдалану қажет. жоғары таза газ таратудағы маңызды миссия.
Жіберу уақыты: 26 қараша 2024 ж