Неліктен UHP газ жеткізу жүйелері соншалықты маңызды?
Жартылай өткізгіштер өндірісінде – ою, CVD, ион имплантациясы және литография сияқты процестерде – технологиялық газдар өте жоғары тазалықта болуы керек, әдетте 99,9999% (6N) немесе тіпті 99,99999% (7N). Тіпті ppb (миллиардқа шаққандағы бөліктер) немесе ppt (триллионға шаққандағы бөліктер) деңгейіндегі ластаушы заттардың өзі – мысалы, ылғал немесе оттегі – қақпа оксидінің жұқаруы, металл қуыстары немесе пластиналардағы қысқа тұйықталу сияқты өлімге әкелетін ақауларды тудыруы мүмкін, бұл тұтас партияларды істен шығаруы мүмкін.
Сондықтан, UHP газ жеткізу жүйесінің мақсаты - газдарды көзден технологиялық құралға тазалығының төмендеуінсіз тасымалдау, ластану мен ағып кетудің алдын алу.
Неліктен EP құбырлары UHP жүйелерінің негізіне айналады?
EP (электроплиталанған) түтікшесі электрохимиялық жылтырату процесінен өтетін тот баспайтын болаттан жасалған, бұл айна тәрізді ішкі бетті береді. Бұл оны UHP газын тарату үшін таптырмас «артерияға» айналдырады.
Тазалықтың ең жоғары деңгейі – алдын алу шаралары
EP өңдеу ішкі беттің кедір-бұдырлығын (Ra) 0,13 мкм – 0,25 мкм немесе одан да төменге дейін төмендетеді. Бұл ультра тегіс әрлеу микроскопиялық жарықтар мен адсорбция орындарын жояды, бөлшектердің, металл иондарының немесе ылғалдың жабысуына орын қалдырмайды.
Коррозияға төзімділіктің жоғарылауы – тазалықты сақтау
Электрожылғылау сатысы беткі қоспаларды кетіреді және хром оксидіне бай пассивті қабат түзеді, бұл Cl₂, CF₄ және HCl сияқты коррозиялық газдарға төзімділікті айтарлықтай жақсартады. Бұл құбыр қабырғаларының бөлшектермен немесе газбен ластануымен ластануын тудыруы мүмкін коррозиясының алдын алады.
Ағын тиімділігін арттыру және жылдам тазарту
Тегіс ішкі қабырға ағынға төзімділікті азайтады және жүйені тазартуды және газды алмастыруды жеделдетеді. Газды жылдам ауыстыруды қажет ететін процестерде бұл цикл уақытын қысқартады және өнімділікті арттырады.
Премиум материал – «Тәж» стандарты
Жоғары сапалы EP түтіктері 316L VIM-VAR (вакуумдық индукциялық балқыту + вакуумдық доғалық қайта балқыту) тот баспайтын болаттан жасалған. Бұл қос балқыту процесі негізгі металдың өте таза көлемін қамтамасыз етеді, бұл EP-дің ең жоғары өнімділігіне қол жеткізудің негізгі алғышарты болып табылады.
Негізгі қолдану сценарийлері
•
Негізгі процестер– Ою, жүрек-қан тамырлары аурулары, иондық имплантация және литография үшін жоғары тазалықтағы реактивті газдарды жеткізу.
•
Арнайы газдар– SiH₄, PH₃, Cl₂ және BCl₃ сияқты тұтанғыш, улы немесе коррозиялық газдарды қауіпсіз пайдалану. Аса қауіпті газдар үшін көбінесе қос контейнерлі EP түтіктері қолданылады (газ үшін ішкі түтік, ағып кетуді бақылау үшін азотпен тазартылған немесе үрленген сыртқы қабық).
•
Маңызды аппараттық құрал– Газ тарату панельдерінде (ГТП), газ шкафтарында және аса таза ішкі беттер міндетті болатын технологиялық құралдардың қосылымдарында қолданылады.
Түтіктен тыс: толық UHP жүйесі үшін басқа да маңызды заттар
Толық тұтастықты қамтамасыз ету үшін жүйе мыналарды қамтуы керек:
•
Толығымен автоматты орбиталық дәнекерлеу– ISO 5 класы (100 класы) немесе одан да жақсы таза бөлмелерде орындалады, қолмен пісіру кезіндегі ауытқулар мен ластану қаупін болдырмайды.
•
Толығымен металл беттік тығыздағыш фитингтері– Мысалы, ағып кетпеу үшін металл төсемдерді пайдаланатын VCR® немесе W-Seal түрлері.
•
Мұқият тазалау және қаптау– EP түтіктері әдетте жоғары тазалықтағы сумен тазаланады, кептіріледі және азотпен тазартылады, содан кейін таза бөлме қаптамасына қос пакетке салынады, бұл орнатуға дейін олардың «жөнелтілген» тазалығын сақтау үшін жасалады.
EP түтіктері жай ғана құбыр емес - бұл жартылай өткізгіш газ жеткізудегі бірінші қорғаныс желісі. Оның өте тегіс беті, жоғары коррозияға төзімділігі және жоғары сапалы материал тазалығы пластина өнімділігіне, құрылғының сенімділігіне және жалпы зауыттың пайдалылығына тікелей әсер етеді. 5 нм-ден төмен түйіндер мен ақауларға арналған бюджеттер әлемінде EP түтіктері міндетті емес - ол негізгі болып табылады.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 5 тамыз